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压力传感器元件—压力测量方法

压力传感器测量方法



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压阻传感器的高精度及其测量绝对压力、表压和压差的能力使其在广泛的用途中得到了各种应用。对于工业设备和机械,压力传感器提供的信息可以用于最有效地操作液压或气动设备,进而与新的工业4.0标准联系在一起。


汽车对燃料效率和减少有害排放的要求越来越高,需要长期稳定和高度精确的传感器。除了介质电阻外,一些用途要求压力传感器具有抗冻性,但最重要的是传感器需要在整个寿命期间提供可靠的信号。


所有的用途都对压力模具的独特特性提出了越来越高的要求,需要在模具水平上具有特定的设计特点。TDK的压力传感器产品系列的开发重点是提高灵敏度和以较小的模具尺寸提供高性能。此外,还要特别注意介质电阻和易处理能力的具体特点。 

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压阻压力传感方法

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压阻压力测量

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在真空下将玻璃粘合到硅上,从而产生对照真空。被测量介质与压力传感器元件芯片前侧的有源电子元件接触。

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表1 : 绝对压力测量—前侧

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对于潮湿或腐蚀介质,使用附加的玻璃盖在前侧形成一个对照室。介质应用于背侧入口。

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表2 : 绝对压力测量—背侧

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表压或压差测量测量前侧和背侧之间的差异。较高的前侧压力引起的压差导致输出信号的正变化。较高的背侧压力导致输出信号的负变化。

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表3 : 表压和压差测量

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